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GD90輝光放電質譜儀
Autoconcept GD90是一個專為高精度元素分析所設計的高分辨輝光放電質譜儀。此輝光放電質譜儀(GDMS)提供了固體金屬與緣體的直接分析檢測。它具有非常寬的元素覆蓋范圍,可得到超過70種元素的有效數據,靈敏度高,輕元素重元素均可。
GDMS技術使原子化(碎片化)過程與離子化過程分開進行,故而可容易的對ppb至ppt級別的痕量雜質進行測量。此法還使得GDMS技術擁有 小的基體效應且無須特定參照材料。它可對金屬與合金進行全掃描分析,可對半導體進行整體的測量分析,可對多層結構與鍍層進行深度剖析。是包括金屬、合金、半導體以及緣體(須配RF源)等高純材料的生產與質量控制的理想工具。
GD90輝光放電質譜儀的主要特性:
·高分辨率,特別是對于有干擾離子存在的測定而言十分重要。
·廣泛的元素涵蓋范圍,軟件中包括70個元素相關的干擾離子數據。
·由于原子化和離子化過程發生在不同區域,帶來可忽略的基體效應。
·低至亞ppb級的定量數據。
·具有深度剖面同位素比值分析能力。
· 少的樣品制備過程。
應用領域:
輝光放電質譜儀--AUTOCONCEPT GD90
半導體:
幾乎所有的電子、光學與光電設備都需要高純度半導體。此類半導體的電學性質依賴于其中的雜質成分。此類材料只有達到低的雜質水平才能保證終端產品(例如微處理器與微型器件)的性能。
GDMS有助于半導體的整體調查分析,可對雜質進行定量鑒定,可達到痕量與超痕量水平。
核能:
在核技術與核研究中,科研人員對同位素比例進行精準的測量有著極大的興趣。被廣泛接受的方法是熱電離質譜(TIMS)。在此方法中,樣品必須被溶解,需要在分析前對感興趣的分析物進行化學分離。
GDMS同樣被用于含核材料樣品的同位素鑒定。通過對比,GDMS被證明是在精準度要求的前提下對B,Li以及U同位素豐度鑒定的優勢性技術。GDMS有著減少樣品制備過程的優勢。
高純度金屬:
在金屬與合金的大批量生產過程中,痕量雜質的總量不易控制。但為了控制其力學、化學、電學與其他高級性質,受控添加痕量元素以及提純過程都是減少材料雜質含量所需要的。
GDMS有助于成品中雜質的檢出與鑒定,以確保由此金屬制成的系統的質量與性能。
合金
合金與超合金試生產高性能機械-例如渦輪機-的關鍵材料。由于此類機械通常在高溫高壓下運行,即使痕量元素成分發生輕微變化都有可能導致災難性后果。
GDMS在鑒定產品的元素組成上非常理想,用以保證機械系統的 優化性能。
輝光放電質譜法作為一種固體樣品的直接分析方法,被認為是目前為止*的同時具有 廣泛的分析元素范圍和足夠靈敏度的元素分析方法,已成為固體材料多元素分析尤其是高純材料分析的強有力的工具。直接對固體進行分析避免了將固體轉化成溶液時因在溶解、稀釋等過程中造成的玷污和靈敏度降低,而且該方法對樣品的分析面積大,所得數據結果有好的代表性。
優勢分析應用領域:
金屬及合金材料
包括高純金屬,濺射靶材,稀貴金屬,超級合金等材料的痕量雜質的半定量和定量分析,同時可分析C、N、O等輕元素。
半導體材料
包括硅片,CdTe,GaAs及其他多種高純電子材料的雜質分析。
無機非金屬材料
包括陶瓷粉末,玻璃,稀土氧化物等材料分析。
薄層分析,深度分布剖面分析等
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